X熒光光譜分析固體樣品，可直接選用生鐵、鋼錠等大塊原材料，也可將熔融物料澆鑄至小型模具成型。緩慢冷卻過程容易產(chǎn)生成分偏析，澆鑄后采用激冷方式，有助于改善這類現(xiàn)象。樣品表面可借助多種方式加工，可采用帶式磨削配合逐級更換粒度的砂紙拋光處理，也可利用車床、銑床、刨床完成切削加工。薄板與金屬箔加工時需要謹(jǐn)慎操作，避免表面出現(xiàn)翹曲、褶皺，同時控制照射時長，降低受熱變形風(fēng)險，必要時搭配剛性支撐件或者粘接固定。
樣品分析面不宜存在氣孔、析出物與多孔結(jié)構(gòu)，制備過程需要重點防控成分偏析。合金組分、密度、鑄模條件以及澆鑄溫度、冷卻速度等，都會對偏析情況帶來影響。即便樣品化學(xué)組分一致，不同熱加工歷程也會改變 X 射線強(qiáng)度，高碳鋼鐵樣品表現(xiàn)較為明顯，冷卻速度差異會對碳、鎂、硅、磷、硫等輕元素產(chǎn)生較大影響，釩、鉻、鎢等元素容易形成碳化物干擾檢測。因此校準(zhǔn)曲線樣品與待測樣品，熱處理過程盡量保持一致。元素在基體中的固溶度會影響樣品均勻性，快速冷卻能夠形成細(xì)晶粒金相組織，晶粒粗大時晶界位置更容易出現(xiàn)組分不均。
X熒光光譜儀檢測粉末樣品
對于切削樣、線材、金屬粉末等不便直接檢測的金屬試樣，可以采用感應(yīng)重熔離心澆鑄法制樣。樣品置于坩堝內(nèi)，氬氣保護(hù)環(huán)境下高頻感應(yīng)熔融，依靠離心力注入模具并快速冷卻得到金屬圓塊。該方法有助于改善基體效應(yīng)，還可搭配稀釋法、內(nèi)標(biāo)法，也能夠人工合成標(biāo)準(zhǔn)樣品，但配套設(shè)備投入較高，制樣成本相對偏高。做好固體樣品制樣全過程管控，保持制樣條件穩(wěn)定，能夠提升 X 熒光光譜檢測數(shù)據(jù)的可靠性。